5月26日消息 據《數字時報》報道，臺積電首席執行官表示，該公司7nm+ EUV已開始批量生產。這是臺積電第一次、也是行業第一次量產EUV極紫外光刻技術。
今年2月，《數字時報》曾報道稱，7nm批量生產將在3月底開始，目前來看，它已經被推遲了至少兩個月。此前臺積電并沒有提到第一個7nm+ EUV產品是什么，但有消息說，華為的麒麟985也是基于7nm+ EUV的。相比一代7nm工藝，7nm+ EUV提升20%的晶體管密度，性能提升10%以上，功耗比第一代7nm低15%。
據悉臺積電今年還將推出第二代7nm制程，明年將開始風險生產6nm制程。
臺積電還表示，今年其7nm產能將比去年增長150%，而5nm的大規模生產將于2020年第一季度啟動。位于臺灣南部科技園的新工廠Fab 18已經開始設備搬遷與安裝，將在明年投產時直接上馬5nm，并為未來的3nm工藝做好準備。
