22日早盤，光刻機相關概念股大漲，藍英裝備(15.620,1.42,10.00%)和捷捷微電(27.520,2.50,9.99%)漲停，科創板個股安集科技漲近18%、華特氣體(89.300,8.87,11.03%)漲12%。

光刻機是芯片制造中最核心設備，復雜程度高，形成龐大產業鏈。光刻環節是晶圓制造中最核心工藝，占晶圓制造耗時40%-50%，占芯片成本30%。作為光刻工藝的核心設備，光刻機結構復雜、成本極高，占晶圓制造設備投資23%。區別于其他晶圓制造設備，浸沒式DUV和EUV光刻機可形成自身產業鏈，因此高端光刻機的突破需要物鏡、光源、浸沒式系統等核心組件和光刻膠、光刻氣、光罩、涂膠顯影設備、檢測設備等諸多配套設施的協同發展。

西南證券(4.650,0.07,1.53%)指出，光刻產業鏈組件推薦福晶科技(14.400,0.55,3.97%)，建議關注國科精密、啟爾機電、華卓精科、科益虹源等02專項支持企業研發進度;光刻膠建議關注南大光電(45.080,3.35,8.03%)、晶瑞股份(43.800,1.83,4.36%)、雅克科技(48.200,2.04,4.42%)、上海新陽(63.560,2.51,4.11%)、容大感光(66.990,3.28,5.15%)、北京科華等;涂膠顯影設備建議關注芯源微(122.300,5.70,4.89%)，前道檢測設備推薦精測電子(72.230,2.88,4.15%)，建議關注睿勵科學、賽騰股份(51.920,4.72,10.00%);光刻氣建議關注華特氣體、凱美特氣(8.090,-0.05,-0.61%);光罩建議關注清溢光電(27.080,1.93,7.67%)、菲利華(30.480,1.58,5.47%)。