業績延續高增長態勢，隨著晶圓產能東移、國產替代邏輯長期存在，驅動本土半導體市場需求穩定增長，行業需求景氣度有望長期延續。在半導體行業中，半導體設備被業內普遍看好。有行業分析人士指出，2021年很多國產半導體設備實現了0-1的跨越，2022年將逐步進入到1-N的放量過程，預計國產替代的進度將不斷加快，我們持續看好半導體設備國產替代的邏輯，是未來的長周期優質賽道。

隨著華為和中芯國際被制裁，設備國產化成為迫切需求，正式開啟了本輪國產替代的黃金浪潮。光大證券分析師劉凱指出，有別于市場認為2021年之后半導體設備行業增速有所下滑，晶圓廠資本支出增速變緩，我們認為國內半導設備行業成長的核心邏輯是國產化率的提高，行業增速下滑不改國產化大趨勢，是未來比較確定的長周期優質賽道。

長城國瑞證券分析師黃文忠指出，從周期角度來看，2021-2022年為設備需求高峰期，重點公司訂單高增長，印證2022年設備需求仍保持強勁。從長期邏輯來看，近年通過我國本土設備企業的不斷努力，厚積薄發，產品不斷通過產線驗證，國產替代進程加快，多領域成熟制程已打破壟斷，進入商業化供貨階段，銷量和收入已初具規模，行業處于成長初期。我們建議關注各環節已實現技術突破，并進入商業化供貨的重點公司，推薦北方華創、拓荊科技、盛美上海、至純科技、芯源微、萬業企業、華峰測控等。

潛力股精選

北方華創(002371)

公司單季度業績創下歷史記錄，主營業務下游客戶需求旺盛，半導體裝備及電子元器件業務實現持續增長。公司作為半導體設備國產化的主力軍，半導體設備包括刻蝕機、PVD、CVD、ALD、氧化/擴散爐、退火爐、清洗機等，產品均獲得行業龍頭客戶的批量訂單。考慮到公司產品進入加速發展期，我們上調公司盈利預測。華西證券指出，公司多產品線布局并在多領域保持技術持續領先，未來國產化市場空間巨大。公司加速研發先進制程設備，將刻蝕技術橫向拓展以滿足客戶需求，目前已具備28nm技術且正在研發14nm-5nm制程產品。

拓荊科技(688072)

公司立足薄膜設備積極布局多元化產品系列，產品包括PECVD、ALD和SACVD設備，產品型號接近10余款，下游客戶覆蓋中芯國際、華虹集團、長江存儲等國內一線邏輯、存儲及功率等晶圓廠商。西部證券指出，公司設備本土主要產線覆蓋率超15%，公司持續擴大產品應用領域，產品市占率持續提升。受益于先進制程持續推進，市場對ALD設備需求加速增長。據Gartner預計，未來ALD年復合增速將達14.7%，高價值新品布局及放量有望成為后續一大亮點。作為國內薄膜設備龍頭，隨著工藝覆蓋范圍逐步拓展以及新產品快速推出，公司營收和盈利將快速增長。

盛美上海(688082)

公司主要產品包括半導體清洗設備、半導體電鍍設備和先進封裝濕法設備等，具備國際領先的單片兆聲波清洗技術、單片槽式組合清洗技術、電鍍技術、無應力拋光技術等。受疫情影響，公司2022年一季度設備交付驗收計劃有所延遲，但全年訂單需求強勁。光大證券指出，公司是國內清洗設備平臺型龍頭，半導體清洗設備兆聲波技術國際領先，品類持續擴展中，另外公司鍍銅設備和爐管設備已經實現一定的出貨量，未來隨著品類的不斷延伸以及客戶驗證的不斷導入，業績有望實現快速增長。2021年公司除了已有的主要客戶的重復訂單之外，新增了五家大陸地區以外的知名客戶，客戶拓展取得了良好的業績。

至純科技(603690)

公司核心業務是泛半導體業務，近年維持穩健快速增長。半導體設備是公司近年大力投入拓展的核心業務，2021年半導體設備業務營業收入7.01億，同比增長222.06%，增長強勁，在手訂單飽滿，未來仍有望成為公司核心增長點。中原證券指出，公司通過可轉債和定增切入半導體清洗的下游晶圓再生業務，今年預計將開始發力貢獻收入，未來有望成為第二增長點。公司通過多年布局，泛半導體業務涉及半導體產業多個環節，已經初見成效。公司一季報披露2022年1-4月公司新增訂單18.02億元，其中半導體濕法設備新增訂單6.31億元。公司半導體設備訂單非常飽滿，助力公司業績增長無憂。

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